石英玻璃是一種應用于要求長期化學和機械穩定性以及優異光學性能環境的優選材料,微流控芯片就是這種材料的應用方向之一。但也正是由于石英玻璃材料的熱穩定性、化學穩定性以及機械硬度高,一直以來在石英玻璃種制造出微型復雜三維結構是充滿挑戰的。
發表于Nature Communications 期刊的研究論文“Fabrication of arbitrary three-dimensional suspended hollow microstructures in transparent fused silica glass”表明,借助微加工3D打印技術能夠克服這一難點,生成高精度的石英玻璃中空微結構。
科研人員將該3D打印微結構澆鑄在液體納米復合玻璃材料中,隨后用UV光在聚合物模板的頂部進行照光固化。然后對該結構進行熱處理,將納米復合材料轉變成熔融石英玻璃,并從內部熔化3D打印模板,在此過程中,溫度高達1300攝氏度,最終制造出帶有中空復雜微通道的石英玻璃結構。
在對這一工藝進行研究的過程中,研究團隊成功的制造出直徑小至7微米的通道。通過石英玻璃混合器等精密測試部件,研究團隊展示了通過這種結合微型3D打印技術的工藝在制造復雜玻璃產品領域的可行性,也為玻璃材料的微細加工提供了可行性。
根據市場觀察,科研團隊所使用的Nanoscribe 雙光子光刻3D打印技術已從科學研究應用走向工業市場,近期他們推出了面向工業微加工的自動化設備Quantum X,該設備最小XY特征尺寸為160納米,用于生產折射和衍射微光學原型、圓晶規模制造以及聚合物母模快速制造。
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